半导体硅的纯度等级怎么分的？
纯氮气是半导体工业不可缺少的原料气和保护气
纯氩气在单晶硅的拉制，半导体、大规模集成电路生产中是必要的
高纯氦主要用于半导体器件的生产
电子气体 (E lect ron icga ses) 半导体工业用的气体统称电子气体.按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类.特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气.电子气体是特种气体的一个重要分支.电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,L S I(大规模集成电路)级,VL S I(超大规模集成电路)级和U L S I(特大规模集成电路)级.
掺杂气体(Dopant Gases) 在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结,电阻,埋层等.掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体.主要包括砷烷,磷烷,三氟化磷,五氟化磷,三氟化砷,五氟化砷,三氯化硼和乙硼烷等.通常将掺杂源与运载气体(如氩气和氮气)在源柜中混合,混合后气流连续流入扩散炉内环绕晶片四周,在晶片表面沉积上化合物掺杂剂,进而与硅反应生成掺杂金属而徙动进入硅.
怎么很精确的在硅上面刻电路的?
在集成电路出现以前，电路是不做在硅片上的。而且早期的集成电路集成度很低，并不是一开始就像现在这样小小一块板子上n个元件。那个时候一小块板上几十个元件就很了不起了，哪能达到现在这样高的工艺精度。。。再说了，刻硅片只是集成电路工艺中的一环而已，硅片上的元件不是光靠刻就能做出来的，还要涉及到很多其他的工序。