纳米工艺技术，通常称为纳米技术，是指在1至100纳米范围内对材料进行加工的技术，以及应用相关技术。纳米尺度的单位是1纳米=10^-9米，相当于100万分之一毫米，而原子和分子的尺寸大约在0.1至0.3纳米之间。纳米技术旨在利用物质在纳米尺度上展现的独特物理、化学和生物学性质，设计和制造具有特定功能的产品。
以下是纳米工艺技术的发展历程概述：
1. 1959年，诺贝尔奖获得者理查德·费曼预言了纳米技术的可能性，他提出可以用机器制造更小的机器，最终实现原子级别的产品制造。
2. 20世纪70年代，纳米科技的概念开始出现，唐尼古奇在1974年首次使用“纳米技术”一词来描述精密机械加工。
3. 1982年，扫描隧道显微镜（STM）的发明为研究纳米世界提供了关键工具，它揭示了原子和分子的可见性，对纳米科技的发展起到了推动作用。
4. 1990年7月，在美国巴尔的摩举办了第一届国际纳米科学技术会议，这一事件标志着纳米科技的正式诞生。
5. 1980年代初，STM和原子力显微镜（AFM）等关键微观表征和操纵技术的发明，为纳米科技的研究提供了强有力的工具。
6. 1991年，碳纳米管的发现引起了广泛关注，它以极轻的质量和极高的强度成为纳米技术研究的热点，被认为在未来可能成为理想的纤维材料和电子组件。
7. 1993年，中国科学院北京真空物理实验室成功操纵原子，写下“中国”二字，这标志着中国在国际纳米科技领域的地位日益重要。
8. 1997年，科学家首次成功移动单电子，这项技术有望在未来实现速度和存储容量远超现有水平的量子计算机。
9. 1999年，科学家发明了能够称量十亿分之一克物体的纳米“秤”，随后德国科学家研制的秤能够称量单个原子的重量，刷新了纪录。
10. 到1999年，纳米技术开始走向市场，纳米产品当年的营业额达到了500亿美元。
近年来，多国政府开始制定相关战略和计划，大力投资纳米技术，以抢占这一战略高地。日本、德国和美国等国家都在积极推进纳米技术的研究和应用。